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        光繪菲林

        光繪菲林

        大尺寸光罩

        名稱:大尺寸光罩
        材料:Soda Lime Glass、Quartz
        規格:1100mm×1100mm~406.4mmx457.2mm
        應用:PCB行業、平板顯示行業

        詳情介紹

        主要應用領域:
          主要應用于LCD、TFT、CF、Touch Panel、OLED、PDP等平板顯示行業;HDI、FPC等PCB行業。
        Applications:
          Mainly used in LCD、TFT、CF、Touch Panel、OLED、PDP and other flat panel display industry;HDI、FPC and other PCB industry.
        ?
        鉻版精度 Chrome Mask SpecificationsStandard Size:430mmx430mm
        ?
        ?
        精度 / 級別
        Items / Class
        最高精度
        Grade 1
        高精度
        Grade 2
        中精度
        Grade 3
        一般精度
        Grade 4
        最小線寬/線縫
        Min.Line/Space Width
        1.0μm/1.0μm 5μm/5μm 10μm/10μm
        20μm/20μm
        線條精度
        CD Control
        ±0.15μm (QZ)
        ±0.5μm
        ±1.0μm
        ±2.0μm
        總長精度
        Total Pitch Accuracy
        ±0.5μm(QZ)
        ±1.0μm
        ±2.0μm
        ±2.0μm
        圖形位置精度
        Registration Accuracy
        ±0.5μm(QZ)
        ±1.0μm
        ±2.0μm
        ±3.0μm
        套合精度
        Overlay Accuracy
        ±0.5μm(QZ)
        ±1.0μm
        ±2.0μm
        ±3.0μm
        垂直精度
        Orthogonality
        ±0.75μrad
        ±2.0μrad
        ±3.0μrad
        ±4.0μrad
        ?
        鉻版材料 Substrate(Photomask blank phate)
        ?
        ?材料 Material Soda Lime Glass、Quartz
        ?最大尺寸Max. Size 1100mm×1100mm
        ?常規尺寸Normal Size
        406.4mmx457.2mm,420mmx520mm,450mmx550mm,580mmx609.6mm,
        609.6mmx711.2mm,620mmx720mm,700mmx800mm,800mmx960mm
        ?厚度 Thickness ?
        2.3±0.2mm,3.0±0.2mm ,4.8±0.2mm ,7.8±0.2mm
        5.0±0.2mm (QZ),8.0±0.2mm (QZ)
        ?鉻膜 Film Type Low Reflectance Chrome
        ?光學密度Optical Density(λ=450nm) Between Plates3.0±0.3 In Plate±0.3
        ?反射率Reflectivity(λ=436nm) Between Plates10±5% In Plate±2%
        ?
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